活動(dòng)名稱：Coherent相干激光技術(shù)系列論壇及準(zhǔn)分子激光器高端應(yīng)用特別專場(chǎng)

活動(dòng)時(shí)間：2021年3月17日-19日

參與方式：在線直播

活動(dòng)簡(jiǎn)介

3月17-19慕尼黑上海光博會(huì)期間，Coherent相干公司推出專題報(bào)告，分享Micro LED行業(yè)最新激光技術(shù)與應(yīng)用。

準(zhǔn)分子激光器在Micro LED領(lǐng)域具有出色的應(yīng)用潛力，短波長(zhǎng)、短脈寬、高功率、高能量等獨(dú)特優(yōu)勢(shì)，使準(zhǔn)分子激光器非常適合加工Micro LED制造中常用的III-V族材料系統(tǒng)。

Coherent相干公司的準(zhǔn)分子激光剝離（LLO）設(shè)備可達(dá)到每個(gè)激光脈沖處理多達(dá)上萬(wàn)顆芯片，最高精度可達(dá)到微米量級(jí)。此外，只有準(zhǔn)分子激光技術(shù)可以滿足透明PI材料的激光剝離工藝要求，在可預(yù)見的未來，準(zhǔn)分子激光將繼續(xù)引領(lǐng)最先進(jìn)的激光剝離方案。

Coherent相干公司開發(fā)出類掩膜的方式對(duì)Micro LED進(jìn)行巨量轉(zhuǎn)移（LIFT），轉(zhuǎn)移速度高達(dá)每秒數(shù)萬(wàn)顆LED，配合獨(dú)有的高精度光學(xué)器件能實(shí)現(xiàn)2微米間距的高精準(zhǔn)加工。目前，亞洲知名終端廠商已經(jīng)采用Coherent的巨量轉(zhuǎn)移設(shè)備用于研發(fā)和試驗(yàn)生產(chǎn)。

Micro LED顯示屏要想在市場(chǎng)上獲得成功，既要大幅降低生產(chǎn)成本，又要不遺余力地朝著100%良率努力。若非如此，生產(chǎn)出數(shù)億像素的顯示屏將無法實(shí)現(xiàn)。但缺陷芯片是不可避免的，因此制造商只能采用與維修/更換方案兼容的生產(chǎn)技術(shù)平臺(tái)。相干公司適用于LLO和巨量轉(zhuǎn)移的UVtransfer與目前研究中的修復(fù)概念兼容。

該工藝的第一步是在晶圓上找到并去除缺陷芯片。但是，這樣會(huì)在臨時(shí)載板上留下空缺（原本由缺陷芯片所占據(jù)）。因此，必須在最終基板上重新填充這些空缺。

將該工藝僅應(yīng)用于選定區(qū)域，或僅應(yīng)用于單個(gè)芯片，就可以在LLO之前從晶圓上去除缺陷芯片。然后，每個(gè)晶圓上去除的芯片會(huì)形成一張地圖，并進(jìn)一步形成基板上缺失芯片的地圖?？梢栽诰蘖哭D(zhuǎn)移后通過類似的前向UVtransfer工藝分別補(bǔ)上缺失的芯片，只不過此時(shí)要使用指定的單束紫外光。

Micro LED是一項(xiàng)激動(dòng)人心的技術(shù)，可以拓展微型和大型顯示屏的性能和應(yīng)用范圍。Coherent相干公司提供從激光器、子系統(tǒng)到完整加工設(shè)備的全套解決方案，支持Micro LED制程中的剝離、巨量轉(zhuǎn)移和修復(fù)工藝，在滿足精度和產(chǎn)量的同時(shí)，滿足預(yù)期的芯片良率需求。

3月17-19慕尼黑上海光博會(huì)期間，Coherent相干公司將推出專題報(bào)告，分享Micro LED行業(yè)最新激光技術(shù)與應(yīng)用。

Coherent相干激光技術(shù)系列論壇

準(zhǔn)分子激光器高端應(yīng)用特別專場(chǎng)

來源：Coherent相干公司

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