半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)商蔚華科技于光學(xué)檢測領(lǐng)域取得突破，自2023年底推出非破壞性碳化硅（SiC）缺陷檢測系統(tǒng)，今年將積極搶進(jìn)化合物半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體、Micro LED三大市場檢測設(shè)備領(lǐng)域。

蔚華總經(jīng)理?xiàng)顮d州表示，在永續(xù)環(huán)保的浪潮下，具有高功率、高壓特性的化合物半導(dǎo)體已成為全球能源及電動車產(chǎn)業(yè)發(fā)展主流，碳化硅基板的質(zhì)量與價(jià)格是決定元件制造、模塊生產(chǎn)質(zhì)量的關(guān)鍵因素，也是推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心驅(qū)動力，市場上更有“得碳化硅基板者得天下”的說法。

蔚華鎖定碳化硅基板的市場需求，去年與南方科技共同發(fā)表業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性致命性缺陷檢測系統(tǒng)，目前蔚華更已與全球多家指標(biāo)性的大廠進(jìn)行驗(yàn)證。

蔚華也透露，將持續(xù)強(qiáng)化在光學(xué)檢測、芯片測試等領(lǐng)域的研發(fā)投入，并參與24日的電子生產(chǎn)制造設(shè)備展。在這次展會上，蔚華將推動SiC基板的100%檢測的理念，并促進(jìn)碳化硅基板交易模式的變革，穩(wěn)定碳化硅基板的商業(yè)發(fā)展。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫

本次是蔚華首次進(jìn)入化合物半導(dǎo)體專區(qū)展位，除了展示JadeSiC-NK的最新技術(shù)發(fā)展外，還帶來可有效反映寬能隙材料內(nèi)隱特性的JadeSA-WBG三維應(yīng)力分析檢測系統(tǒng)，適用于SiC基板、同質(zhì)及異質(zhì)磊晶、元件制程材料應(yīng)力及晶型掌握。

另外，今年針對磊晶制程延伸開發(fā)的JadeSiC-EPi，通過光學(xué)掃描方式檢測磊晶層上的致命缺陷。蔚華與南方科技合作，將光學(xué)技術(shù)運(yùn)用于化合物半導(dǎo)體檢測領(lǐng)域，擴(kuò)展到其他熱門應(yīng)用上，如：適用于Micro LED晶圓巨量PL及非接觸式巨量漏電檢測的JadeML解決方案，未來雙方也計(jì)劃加速開發(fā)超穎材料、硅光子等創(chuàng)新光學(xué)檢測技術(shù)。

此外，為滿足市場上功率半導(dǎo)體、射頻、SoC等芯片的多樣化測試需求，蔚華整合經(jīng)銷品牌自動化測試與量測系統(tǒng)的領(lǐng)導(dǎo)廠商N(yùn)I、意大利領(lǐng)導(dǎo)品牌Osai以及自有產(chǎn)品，推出測試設(shè)備及板件維修服務(wù)。在功率半導(dǎo)體測試方面，Osai的功率模塊測試分類機(jī)具有高度自動化和靈活性，能夠針對不同測試環(huán)境及需求進(jìn)行測試性能擴(kuò)充，搭配上CREA的測試解決方案，滿足市場對于KGD（Known Good Die）的測試要求及趨勢。（來源：財(cái)訊快報(bào)）

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