1月28日，山西省科技廳發(fā)布“2022年度山西省科技重大專項(xiàng)計(jì)劃‘揭榜掛帥 ’項(xiàng)目中榜名單”中榜公告。

公告顯示，中科潞安聯(lián)合中國(guó)科學(xué)院半導(dǎo)體研究所、長(zhǎng)治學(xué)院實(shí)施的“深紫外LED量產(chǎn)型金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積（MOCVD）裝備研發(fā)”項(xiàng)目成功入榜。

山西省科技重大專項(xiàng)計(jì)劃是山西省科技計(jì)劃體系中層次最高的科技項(xiàng)目，重點(diǎn)解決面向世界科技前沿、面向全省經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)、面向人民生命健康的重大科學(xué)問(wèn)題和“卡脖子”技術(shù)、重大科技成果轉(zhuǎn)化應(yīng)用。原則上采取“揭榜掛帥”方式，面向國(guó)內(nèi)外廣泛征集優(yōu)勢(shì)科研團(tuán)隊(duì)掛帥揭榜攻關(guān)。

據(jù)悉，該項(xiàng)目聚焦第三代半導(dǎo)體外延設(shè)備研發(fā)和材料關(guān)鍵基礎(chǔ)工藝驗(yàn)證等重大科學(xué)與技術(shù)問(wèn)題，通過(guò)實(shí)現(xiàn)核心MOCVD裝備的高端化和實(shí)用化，為生產(chǎn)寬禁帶高質(zhì)量半導(dǎo)體材料與高性能器件奠定基礎(chǔ)。（綜合來(lái)源：中科潞安、長(zhǎng)治學(xué)院科研部）