德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司今日宣布,接獲中國(guó)科學(xué)院金屬研究所(IMR)的BM系統(tǒng)訂單。訂單內(nèi)容為一套4英寸晶片規(guī)格的BM Pro PECVD系統(tǒng),用于碳納米管和石墨烯生產(chǎn)的研究。
該訂單于2012年第一季度接獲,系統(tǒng)將于2012年第三季度交付。愛思強(qiáng)的當(dāng)?shù)胤?wù)支持團(tuán)隊(duì)將在該研究所的先進(jìn)無(wú)塵室設(shè)施中安裝并調(diào)試這套沉積系統(tǒng)。
“我們對(duì)即將交付的新系統(tǒng)充滿期待,它將大大提升我們采用擁有特殊導(dǎo)電性和手性的石墨烯,控制合成碳納米管的能力。”中科院金屬研究所先進(jìn)炭材料研究部的負(fù)責(zé)人成教授介紹說(shuō),“愛思強(qiáng)的BM系統(tǒng)在業(yè)界享有極高聲譽(yù),具有出色的可靠性、靈活性和處理能力。我們相信在這一系統(tǒng)的協(xié)助下,我們將有能力生產(chǎn)高質(zhì)量的碳納米管,以及具有良好的結(jié)構(gòu)特性、均勻一致的石墨烯。BM系統(tǒng)的運(yùn)行及維護(hù)均非常方便,而且愛思強(qiáng)當(dāng)?shù)胤?wù)支持團(tuán)隊(duì)具有極高的專業(yè)素養(yǎng),能夠隨時(shí)為我們提供流程和系統(tǒng)上的支持。”
愛思強(qiáng)BM系統(tǒng)為碳納米管和石墨烯生產(chǎn)提供整套的解決方案。該系統(tǒng)可以在熱化學(xué)氣相沉積或等離子強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積模式下工作,對(duì)控制碳納米材料的結(jié)構(gòu)非常重要,適用于幾乎所有種類和形態(tài)的碳納米管和石墨烯的生產(chǎn)。
愛思強(qiáng)首席運(yùn)營(yíng)官Bernd Schulte博士評(píng)論道:“BM系列產(chǎn)品已經(jīng)成為眾多機(jī)構(gòu)的首選系統(tǒng),其出色的可靠性和一致性能夠勝任最復(fù)雜的碳納米管排列和優(yōu)質(zhì)石墨烯的生產(chǎn)。來(lái)自各個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的客戶,均對(duì)我們的產(chǎn)品贊譽(yù)有加,相信我們的BM Pro系統(tǒng)同樣會(huì)令中科院金屬研究所感到滿意。”