近年來(lái)，Micro LED成為顯示市場(chǎng)上的一個(gè)熱點(diǎn)技術(shù)，相比于已經(jīng)量產(chǎn)的LCD、OLED等顯示技術(shù)，Micro LED在亮度、色彩、視角、對(duì)比度、分辨率和壽命等大多數(shù)技術(shù)維度上都有著更為優(yōu)異的性能表現(xiàn)。

目前，產(chǎn)業(yè)鏈上下游越來(lái)越多的公司都參與到Micro LED技術(shù)開發(fā)中來(lái)，這也在客觀上加速了Micro LED的量產(chǎn)進(jìn)程。但要實(shí)現(xiàn)真正意義上的量產(chǎn)，Micro LED還需要克服諸多技術(shù)上的難點(diǎn)，包括外延片的波長(zhǎng)均勻性、LED尺寸的微縮制程、巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)、檢測(cè)與維修技術(shù)、驅(qū)動(dòng)電路的設(shè)計(jì)等等。

Semilab成立于1989年，是一家來(lái)自歐洲的半導(dǎo)體檢測(cè)設(shè)備生產(chǎn)商，總部位于匈牙利的布達(dá)佩斯，經(jīng)過(guò)30多年的技術(shù)沉淀，目前已經(jīng)成長(zhǎng)為泛半導(dǎo)體行業(yè)純光學(xué)/電學(xué)檢測(cè)設(shè)備的領(lǐng)先企業(yè)，也是泛半導(dǎo)體行業(yè)第4大Pure Metrology供應(yīng)商。

Semilab在匈牙利、美國(guó)、德國(guó)，丹麥和中國(guó)設(shè)有產(chǎn)品研發(fā)與生產(chǎn)中心；銷售及技術(shù)服務(wù)網(wǎng)絡(luò)遍及全球泛半導(dǎo)體行業(yè)分布的國(guó)家和地區(qū)；擁有眾多物理學(xué)家，并在電學(xué)、光學(xué)等領(lǐng)域擁有100多種專利測(cè)量技術(shù)；主要為半導(dǎo)體、顯示、太陽(yáng)能、LED及科研行業(yè)提供測(cè)量技術(shù)、測(cè)量設(shè)備和測(cè)量整體解決方案。

基于對(duì)Micro LED技術(shù)和市場(chǎng)前景的看好，Semilab結(jié)合自身深厚的技術(shù)沉淀和豐富的行業(yè)經(jīng)驗(yàn)，與業(yè)界伙伴深度合作，開發(fā)出針對(duì)Micro LED不同制程階段的檢測(cè)技術(shù)解決方案。

在Micro LED制程中，需要對(duì)外延層薄膜、Micro LED器件制造過(guò)程的薄膜及驅(qū)動(dòng)器件薄膜的膜厚及膜質(zhì)進(jìn)行精確的監(jiān)控。針對(duì)薄膜測(cè)試需求，Semilab推出μSE-2500設(shè)備，基于業(yè)界領(lǐng)先的光譜橢偏儀技術(shù)，配合超微光斑及材料數(shù)據(jù)庫(kù)，可以對(duì)CVD、PVD、Coater、Evaporation等制程薄膜厚度及質(zhì)量，進(jìn)行在線、無(wú)損和快速準(zhǔn)確的測(cè)試。

Semilab μSE-2500設(shè)備

橢偏儀測(cè)量原理圖

針對(duì)器件性能測(cè)試及良率提升要求，2021年Semilab針對(duì)Micro LED市場(chǎng)推出了LumiPix設(shè)備，結(jié)合明場(chǎng)檢測(cè)（BF）、光致發(fā)光（PL）技術(shù)、可選擇的暗場(chǎng)檢測(cè)（DF）及光譜判定技術(shù)，可對(duì)目標(biāo)晶圓進(jìn)行快速、精確的缺陷檢測(cè)。

Semilab LumiPix Series

明場(chǎng)圖像被認(rèn)為是晶圓表面的缺陷信息，LumiPix的明場(chǎng)檢測(cè)能快速對(duì)明場(chǎng)圖像進(jìn)行處理，得到明場(chǎng)圖像中的缺陷特征和坐標(biāo)信息。而光致發(fā)光圖像對(duì)應(yīng)著半導(dǎo)體材料層的光致發(fā)光信息，通過(guò)材料的發(fā)光特性來(lái)得到器件的缺陷信息，因而這種信息不止包含了來(lái)自表面的結(jié)構(gòu)缺陷，也包含了來(lái)自于器件深層的缺陷信息。

通過(guò)對(duì)比明場(chǎng)圖像和PL圖像，可以更加精準(zhǔn)地對(duì)缺陷進(jìn)行分類，去發(fā)現(xiàn)真正對(duì)良率造成影響的器件，從而提升檢測(cè)的效率。Semilab開發(fā)的算法也能夠?qū)θ毕葸M(jìn)行快速分類，從而給出整面晶圓的統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)，給長(zhǎng)期的監(jiān)控提供依據(jù)。

Semilab伴隨中國(guó)泛半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展二十余載，扎根依托于中國(guó)市場(chǎng)，業(yè)務(wù)覆蓋了中國(guó)90%以上的泛半導(dǎo)體行業(yè)客戶，深切理解客戶需求，同時(shí)擁有半導(dǎo)體、顯示、太陽(yáng)能、LED、科研行業(yè)的豐富的應(yīng)用和技術(shù)服務(wù)經(jīng)驗(yàn)，為客戶提供個(gè)性化的產(chǎn)品和服務(wù)。

目前Micro LED技術(shù)開發(fā)方興未艾，各種不同的技術(shù)開發(fā)路線并行不悖，但都處于積極開發(fā)階段，遠(yuǎn)未形成統(tǒng)一的技術(shù)方案和標(biāo)準(zhǔn)。Semilab表示將持續(xù)加大研發(fā)投入，與業(yè)界伙伴攜手合作，針對(duì)Micro LED開發(fā)中的檢測(cè)需求，提供高標(biāo)準(zhǔn)，定制化的系統(tǒng)解決方案，共同應(yīng)對(duì)技術(shù)挑戰(zhàn)，助力Micro LED顯示技術(shù)的量產(chǎn)實(shí)現(xiàn)。（來(lái)源：Semilab）

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