3月12日，中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中微公司”）宣布其等離子體刻蝕設(shè)備反應(yīng)總臺(tái)數(shù)全球累計(jì)出貨超過5000臺(tái)。這包括CCP高能等離子體刻蝕機(jī)和ICP低能等離子體刻蝕機(jī)、單反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器和雙反應(yīng)臺(tái)反應(yīng)器共四種構(gòu)型的設(shè)備。

中微公司介紹，等離子體刻蝕機(jī)，是光刻機(jī)之外，最關(guān)鍵的、也是市場(chǎng)最大的微觀加工設(shè)備。由于微觀器件越做越小和光刻機(jī)的波長(zhǎng)限制，也由于微觀器件從二維到三維發(fā)展，刻蝕機(jī)是半導(dǎo)體設(shè)備過去十年增長(zhǎng)最快的市場(chǎng)。

圖片來源：拍信網(wǎng)正版圖庫

中微公司的等離子體刻蝕設(shè)備不斷擴(kuò)大市場(chǎng)占有率，其中，CCP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長(zhǎng)大于37%，已突破4000個(gè)反應(yīng)臺(tái)；ICP設(shè)備在線累計(jì)裝機(jī)量近四年年均增長(zhǎng)大于100%，已突破1000個(gè)反應(yīng)臺(tái)。截至2025年2月底，公司累計(jì)已有超過5400個(gè)反應(yīng)臺(tái)在國內(nèi)外130多條生產(chǎn)線，全面實(shí)現(xiàn)了量產(chǎn)和大規(guī)模重復(fù)性銷售。

資料顯示，中微公司主要銷售等離子體刻蝕設(shè)備、薄膜設(shè)備、MOCVD設(shè)備等高端半導(dǎo)體及泛半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品。

據(jù)業(yè)績(jī)快報(bào)顯示，中微公司2024年?duì)I業(yè)收入約90.65億元，較2023年增加約28.02億元。其中，刻蝕設(shè)備收入約72.77億元，同比增長(zhǎng)約54.73%。（來源：中微公司）

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