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兆馳、羅化芯、中科院等公布多項(xiàng)MicroLED專利

近日,兆馳半導(dǎo)體、秋水半導(dǎo)體、爍軒半導(dǎo)體、 先禾新材料、羅化芯顯示科技、等企業(yè)以及湖南大學(xué)、福州大學(xué)、華中科技大學(xué)、武漢大學(xué)、閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室、中國(guó)科學(xué)院等大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)相繼公布多項(xiàng)Micro LED發(fā)明專利。

發(fā)明專利針對(duì)當(dāng)前Micro LED技術(shù)提出解決方案,分別實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)化發(fā)光結(jié)構(gòu)、簡(jiǎn)化驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、提高可靠性和良品率、解決刻蝕不凈現(xiàn)象、提升芯片的光電性能、提升發(fā)光效率,等技術(shù)改進(jìn)。

兆馳半導(dǎo)體:高光效Micro LED外延片及其制備方法:提升發(fā)光效率

江西兆馳半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“高光效Micro-LED外延片及其制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119050225A,申請(qǐng)公布日為2024月11月29日,發(fā)明人為胡加輝、鄭文杰、高虹、劉春楊、金從龍。
 

兆馳半導(dǎo)體Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種高光效Micro LED外延片及其制備方法、Micro LED,涉及半導(dǎo)體光電器件領(lǐng)域。Micro LED外延片依次包括襯底、緩沖層、非摻雜GaN層、N型GaN層、多量子阱層、空穴擴(kuò)展層、空穴存儲(chǔ)層和空穴層;空穴擴(kuò)展層為周期性結(jié)構(gòu),每個(gè)周期均包括依次層疊的BN層和Mg輕摻GaN層;空穴存儲(chǔ)層為周期性結(jié)構(gòu),每個(gè)周期均包括依次層疊的GaN層、InGaN層和Mg摻AlGaN層;空穴層為周期性結(jié)構(gòu),每個(gè)周期均包括依次層疊的P型BInGaN層、Mg3N2層和P型GaN層;P型GaN層的摻雜濃度≥1×1019cm3。實(shí)施本發(fā)明,可提升發(fā)光效率。

兆馳半導(dǎo)體:一種Micro LED芯片及其制備方法:提升良率

江西兆馳半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種Micro-LED芯片及其制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119008795A,申請(qǐng)公布日為2024月11月8日,發(fā)明人為汪恒青、張星星、胡加輝、金從龍。
 

兆馳半導(dǎo)體Micro LED專利2

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種Micro LED芯片及其制備方法,該方法包括:提供一外延片;在P型半導(dǎo)體層上制作透明導(dǎo)電層;將制作透明導(dǎo)電層后的外延片放置于退火設(shè)備中進(jìn)行退火處理;對(duì)P型半導(dǎo)體層與多量子阱層進(jìn)行刻蝕,暴露出N型半導(dǎo)體層的表面以形成MESA臺(tái)面;在MESA臺(tái)面與透明導(dǎo)電層上分別制作N型電極層與P型電極層;在N型電極層與P型電極層上制作保護(hù)層;對(duì)保護(hù)層、N型電極層與P型電極層進(jìn)行研磨拋光,使外延片的厚度自一初始厚度改變至一目標(biāo)厚度;在保護(hù)層上制作與N型電極層連接的N型焊盤層,以及與P型電極層連接的P型焊盤層。本發(fā)明旨在解決現(xiàn)有技術(shù)中Micro LED芯片基本只能依靠金屬鍵合,而焊盤表面的不平整會(huì)導(dǎo)致鍵合時(shí)良率不高的技術(shù)問(wèn)題。

兆馳半導(dǎo)體:一種藍(lán)光Micro LED的外延片及其制備方法

12月10日,該專利進(jìn)入授權(quán)階段。
 

兆馳半導(dǎo)體Micro LED專利3

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種藍(lán)光Micro LED的外延片及其制備方法,外延片中多量子阱發(fā)光層包括依次層疊生長(zhǎng)的第一淺藍(lán)光多量子阱層,第二淺藍(lán)光多量子阱層,第三藍(lán)光多量子阱層和第四淺藍(lán)光多量子阱層;第一淺藍(lán)光多量子阱層為依次周期性交替生長(zhǎng)的第一InGaN多量子阱層與第一多量子阱復(fù)合壘層的超晶格結(jié)構(gòu);第二淺藍(lán)光多量子阱層為依次周期性交替生長(zhǎng)的第二InGaN多量子阱層與第二多量子阱復(fù)合壘層的超晶格結(jié)構(gòu);第三藍(lán)光多量子阱層為依次周期性交替生長(zhǎng)的第三InGaN多量子阱層與Si摻GaN多量子壘層的超晶格結(jié)構(gòu);第四淺藍(lán)光多量子阱層為依次周期性交替生長(zhǎng)的第四InGaN多量子阱層與的超晶格結(jié)構(gòu)。實(shí)施本發(fā)明,可提高M(jìn)icro LED在低工作電流密度下的光效、良率。

兆馳半導(dǎo)體:一種藍(lán)光Micro LED的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,提高光效、良率

12月10日,該專利進(jìn)入授權(quán)階段。

兆馳半導(dǎo)體Micro LED專利5

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料的技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種藍(lán)光Micro LED的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,外延結(jié)構(gòu)包括襯底,在所述襯底上依次層疊的緩沖層,N型半導(dǎo)體層,低溫應(yīng)力釋放層,多量子阱發(fā)光層,電子阻擋層和P型半導(dǎo)體層,所述多量子阱發(fā)光層包括由下至上依次層疊生長(zhǎng)的第一淺藍(lán)光多量子阱子層,第二淺藍(lán)光多量子阱子層,第三藍(lán)光多量子阱子層和第四淺藍(lán)光多量子阱子層,其中每層子層均為InGaN多量子阱層與多量子壘層的超晶格結(jié)構(gòu)。

實(shí)施本發(fā)明,可降低生長(zhǎng)InGaN量子阱時(shí)的應(yīng)力,顯著改善多量子阱發(fā)光層的質(zhì)量,同時(shí)提高P型半導(dǎo)體層的空穴注入效率,從而提高M(jìn)icro LED芯片在低工作電流密度下的光效、良率等性能,適用于小尺寸、低電流以及低功率的藍(lán)光Micro LED。

兆馳半導(dǎo)體:一種Micro LED的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,提升發(fā)光亮度

12月3日,該專利進(jìn)入授權(quán)階段。

兆馳半導(dǎo)體Micro LED專利6

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體材料的技術(shù)領(lǐng)域,公開了一種Micro LED的外延結(jié)構(gòu)及其制備方法,所述外延結(jié)構(gòu)包括襯底,在所述襯底上依次層疊的緩沖層,未摻雜的GaN層,N型摻雜GaN層,插入層,多量子阱層,電子阻擋層,P型摻雜GaN層和接觸層;其中,所述插入層包括于所述N型摻雜GaN層上依次設(shè)置的AlN層、圖形化的GaSb層、Al金屬層和InGaN層。

在N型摻雜GaN層和多量子阱層之間設(shè)置插入層,可以降低生長(zhǎng)多量子阱層時(shí)的應(yīng)力,并降低多量子阱層的位錯(cuò)密度,提高多量子阱層的晶體質(zhì)量,從而提高M(jìn)icro LED的內(nèi)量子效率,降低工作電壓,提升發(fā)光亮度。

秋水半導(dǎo)體:Micro LED顯示設(shè)備,提高可靠性和良品率

蘇州秋水半導(dǎo)體科技有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ Micro-LED顯示設(shè)備”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119133205A,申請(qǐng)公布日為2024月12月13日,發(fā)明人為王前文。

秋水半導(dǎo)體Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本申請(qǐng)公開了Micro LED顯示設(shè)備,Micro LED顯示設(shè)備包括襯底以及設(shè)置于襯底的主表面上的層系組合,其中沿垂直于主表面的方向觀察,層系組合劃分為顯示區(qū)和外圍區(qū),顯示區(qū)包括以預(yù)定方式排列的多個(gè)功能層,并形成多個(gè)顯示像素,外圍區(qū)環(huán)繞設(shè)置于顯示區(qū)的外圍,并由顯示區(qū)中的一部分功能層延續(xù)形成,其中Micro LED顯示設(shè)備還包括隔離環(huán),隔離環(huán)嵌設(shè)于外圍區(qū)內(nèi),并隨顯示區(qū)中的另一部分功能層同步形成,隔離環(huán)環(huán)繞設(shè)置于顯示區(qū)的外圍,并與顯示區(qū)保持預(yù)定間隔。通過(guò)上述方法,本申請(qǐng)過(guò)能夠提高M(jìn)icro LED顯示設(shè)備的可靠性和良品率。

據(jù)悉,蘇州秋水半導(dǎo)體科技有限公司成立于2022年11月30日,其率先實(shí)現(xiàn)8英寸Hybrid Bonding Micro LED工藝通線,實(shí)現(xiàn)原子級(jí)平整界面控制,實(shí)現(xiàn)了>95%面積的完美貼合,率先實(shí)現(xiàn)8英寸Hybrid Bonding Micro LED工藝通線,并完成數(shù)字車燈產(chǎn)品的封裝工藝打通和驅(qū)動(dòng)點(diǎn)亮。

爍軒半導(dǎo)體:一種面向Micro LED顯示的驅(qū)動(dòng)方法及芯片,降低功耗、提高顯示均勻性

安徽爍軒半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種面向Micro-LED顯示的驅(qū)動(dòng)方法及芯片”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119107901A,申請(qǐng)公布日為2024月12月10日,發(fā)明人為趙茂、張若平、劉振陽(yáng)。
 

爍軒半導(dǎo)體Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本申請(qǐng)公開了一種面向Micro LED顯示的驅(qū)動(dòng)方法及芯片,屬于涉及LED顯示技術(shù)領(lǐng)域,包括:獲取待顯示圖像的像素點(diǎn)總數(shù);根據(jù)像素點(diǎn)總數(shù),將待顯示圖像劃分為多個(gè)子區(qū)域,每個(gè)子區(qū)域包含由多個(gè)驅(qū)動(dòng)單元組成的像素陣列;將每個(gè)像素點(diǎn)的灰度數(shù)據(jù)通過(guò)預(yù)設(shè)協(xié)議傳輸至對(duì)應(yīng)子區(qū)域的驅(qū)動(dòng)單元;驅(qū)動(dòng)單元接收行信號(hào)、灰度數(shù)據(jù)、基準(zhǔn)電流以及時(shí)鐘信號(hào)作為輸入信號(hào);

當(dāng)接收到行信號(hào)時(shí),驅(qū)動(dòng)單元將灰度數(shù)據(jù)轉(zhuǎn)換為PWM信號(hào),PWM信號(hào)的占空比由灰度數(shù)據(jù)決定;根據(jù)PWM信號(hào)控制基準(zhǔn)電流的輸出時(shí)間,從而生成與灰度數(shù)據(jù)對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)電流,驅(qū)動(dòng)像素點(diǎn)發(fā)光。針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中Micro LED顯示驅(qū)動(dòng)芯片功耗大,本申請(qǐng)?jiān)诮档凸牡耐瑫r(shí)提高了顯示均勻性。

安徽爍軒半導(dǎo)體有限公司成立于 2023年9月,是一家行業(yè)技術(shù)領(lǐng)先的集成電路設(shè)計(jì)企業(yè),全資收購(gòu)并基于南京浣軒開展光電芯片驅(qū)動(dòng)(控制)業(yè)務(wù)。主營(yíng)產(chǎn)品為微顯示驅(qū)動(dòng)、微背光驅(qū)動(dòng)、微投影驅(qū)動(dòng)及應(yīng)用解決方案,產(chǎn)品主要應(yīng)用在超高清顯示、車載顯示、車載微投影(前后大燈)等領(lǐng)域。已經(jīng)連續(xù)5年為央視春晚提供優(yōu)質(zhì)LED驅(qū)動(dòng)芯片產(chǎn)品與綜合解決方案。今年4月,爍軒超高清顯示及車規(guī)級(jí)芯片項(xiàng)目開工。

先禾新材料:Micro LED粘貼用導(dǎo)電銀膠及其制備方法與應(yīng)用方法,使Micro LED芯片被100%點(diǎn)亮

先禾新材料(蘇州)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“Micro-LED粘貼用導(dǎo)電銀膠及其制備方法與應(yīng)用方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN118995105A,申請(qǐng)公布日為2024月11月22日,發(fā)明人為陳實(shí)、楊龍、涂照康、黃勇、熊勇。

先禾新材料Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了Micro LED粘貼用導(dǎo)電銀膠及其制備方法與應(yīng)用方法,其中制備方法包括:步驟S1:按質(zhì)量份計(jì)配備材料;步驟S2:將銀鹽、醇胺和醇酯溶劑避光條件下用行星式分散設(shè)備分散得到均一液態(tài)銀胺絡(luò)合液,避光冷凍存儲(chǔ)備用;步驟S3:將所述液態(tài)環(huán)氧樹脂、酸酐固化劑以及銀絡(luò)合液在避日光條件下用行星式分散設(shè)備分散得到粘度為1000cps5000cps導(dǎo)電銀膠。

本方案可適用于口徑為3μm的EHD噴嘴,同時(shí)也能確保接收基材與Micro LED芯片的介面粘附大于芯片與底襯之間的作用力,并在導(dǎo)電銀膠固化后形成導(dǎo)電通路實(shí)現(xiàn)Micro LED芯片與金屬基板之間導(dǎo)電接觸,使Micro LED芯片被100%點(diǎn)亮。

先禾新材料(蘇州)有限公司成立于2022年02月17日,注冊(cè)資本1,000萬(wàn)(元),是一家專業(yè)電子材料提供商,提供高性能的導(dǎo)熱、防護(hù)、導(dǎo)電、粘接等多系列的產(chǎn)品,廣泛應(yīng)用于通信、汽車、消費(fèi)電子、家用電器、工控、照明、半導(dǎo)體及電子元器件等領(lǐng)域。

羅化芯:一種AR/VR全彩Micro LED顯示裝置及其制備方法,有效保護(hù)Micro LED芯片

羅化芯顯示科技開發(fā)(江蘇)有限公司申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種AR/VR全彩Micro-LED顯示裝置及其制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN118969937A,申請(qǐng)公布日為2024月11月15日,發(fā)明人為李雍、陳文娟、王春桃。

羅化芯Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明涉及一種AR/VR全彩Micro LED顯示裝置及其制備方法,涉及半導(dǎo)體顯示技術(shù)領(lǐng)域。在本申請(qǐng)的AR/VR全彩Micro LED顯示裝置的制備方法中,通過(guò)設(shè)置層疊設(shè)置的第一保護(hù)層、第二保護(hù)層以及第三保護(hù)層,且第二保護(hù)層的密度大于第一保護(hù)層的密度,且所述第二保護(hù)層中臨近所述第一保護(hù)層的一側(cè)的密度小于所述第二保護(hù)層的另一側(cè)的密度,且兩側(cè)密度差為0.61.5g/cm3;所述第三保護(hù)層的密度大于所述第二保護(hù)層的所述另一側(cè)的密度,通過(guò)設(shè)置密度逐漸變化的第二保護(hù)層,進(jìn)而使得第二保護(hù)層的致密性逐漸提高,有效保護(hù)第一保護(hù)層的同時(shí),使得第二保護(hù)層的外表面的剛性增加,且第三保護(hù)層的剛性更大,進(jìn)而在后續(xù)轉(zhuǎn)移工序以及使用過(guò)程中,有效保護(hù)Micro LED芯片。

湖南大學(xué):防光串?dāng)_的堆疊結(jié)構(gòu)Micro LED顯示模塊及其制備方法,減少光串?dāng)_現(xiàn)象、提高飽和度

湖南大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ 防光串?dāng)_的堆疊結(jié)構(gòu)Micro-LED顯示模塊及其制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119133208A,申請(qǐng)公布日為2024月12月13日,發(fā)明人為陳舒拉、廖小琴、易瀟、潘安練。

湖南大學(xué)Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本申請(qǐng)公開了防光串?dāng)_的堆疊結(jié)構(gòu)Micro LED顯示模塊及其制備方法;涉及光學(xué)半導(dǎo)體領(lǐng)域,該顯示模塊包括多個(gè)陣列設(shè)置的像素點(diǎn)單元,像素點(diǎn)單元包括堆疊設(shè)置的基板層和鈍化層,基板層和鈍化層之間設(shè)有多個(gè)發(fā)光區(qū)塊,多個(gè)發(fā)光區(qū)塊堆疊設(shè)置;每個(gè)發(fā)光區(qū)塊上均設(shè)有N電極,多個(gè)N電極之間相互不連通,多個(gè)發(fā)光區(qū)塊共同連接有P電極;N電極與P電極之間通過(guò)鈍化層隔絕;該方法是通過(guò)逐層堆疊并圖案化制備的該顯示模塊;本申請(qǐng)將多個(gè)發(fā)光區(qū)塊的電極分隔設(shè)置,正反向電壓或電流的控制下,使短波長(zhǎng)LED對(duì)長(zhǎng)波長(zhǎng)LED光致發(fā)光效應(yīng)產(chǎn)生的光生載流子反向遷移,不在發(fā)光層復(fù)合發(fā)光,實(shí)現(xiàn)不同波長(zhǎng)完全依靠電控制發(fā)光,在外加偏壓調(diào)控的情況下,減少多色堆疊Micro LED芯片中光串?dāng)_的現(xiàn)象,提高M(jìn)icro LED顯示的飽和度。

福州大學(xué):一種基于電感儲(chǔ)能的共用數(shù)據(jù)引線彩色Micro LED器件驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),簡(jiǎn)化驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)

福州大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ 一種基于電感儲(chǔ)能的共用數(shù)據(jù)引線彩色Micro-LED器件驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119107899A,申請(qǐng)公布日為2024月12月10日,發(fā)明人為林珊玲、苗華康、林堅(jiān)普、林志賢、呂珊紅、郭太良。
 

福州大學(xué)Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種基于電感儲(chǔ)能的共用數(shù)據(jù)引線彩色Micro LED器件驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu),包括:原色像素電路、行掃描引線、列數(shù)據(jù)引線、P型溝道薄膜晶體管開關(guān)以及N型溝道薄膜晶體管開關(guān);

原色像素電路包括兩個(gè)相互并聯(lián)且電極相反的原色微發(fā)光二極管,兩個(gè)原色微發(fā)光二極管各自串聯(lián)一個(gè)儲(chǔ)能電感,原色像素電路與P型溝道薄膜晶體管的漏極相連接,原色像素電路的相對(duì)側(cè)分別接地和連接N型溝道薄膜晶體管開關(guān)的漏極;P型溝道薄膜晶體管開關(guān)的柵極與行掃描引線相連接,P型溝道薄膜晶體管開關(guān)的源極與列數(shù)據(jù)引線相連接;N型溝道薄膜晶體管開關(guān)的源極和柵極均連接至行掃描引線。本發(fā)明在保證發(fā)光成像質(zhì)量的同時(shí),簡(jiǎn)化驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)。

華中科技大學(xué):一種光子晶體增強(qiáng)出光的深紫外Micro LED芯片及其制備方法,提高深紫外芯片的外量子效率

華中科技大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“一種光子晶體增強(qiáng)出光的深紫外Micro-LED芯片及其制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119069586A,申請(qǐng)公布日為2024月12月3日,發(fā)明人為魏御繁、陳楨宇、戴江南。
 

華中科技大學(xué)Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明涉及光子晶體增強(qiáng)出光的深紫外Micro LED芯片及其制備方法,屬于發(fā)光電子技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明在MESA臺(tái)面周圍暴露的nAlGaN外延層利用納米球刻蝕技術(shù)制備出周期性光子晶體結(jié)構(gòu),從而實(shí)現(xiàn)深紫外Micro LED光提取的提高。本發(fā)明提出通過(guò)在暴露的nAlGaN層引入周期與有源層發(fā)射波長(zhǎng)相當(dāng)?shù)墓庾泳w結(jié)構(gòu),通過(guò)光柵衍射效應(yīng)增加了光的散射路徑,提高了深紫外Micro LED的光提取效率;同時(shí)選擇對(duì)紫外光具有較高反射率的Al基金屬膜作為N電極連接金屬,不僅可以連接不同臺(tái)面周圍的N電極以形成完整回路,又可反射紫外光至襯底一側(cè),進(jìn)一步提高了芯片的光提取效率,最終提高了整個(gè)深紫外芯片的外量子效率。

武漢大學(xué):一種基于空腔圖形化襯底的Micro LED芯片制備方法,提升芯片的光電性能

武漢大學(xué)申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ 一種基于空腔圖形化襯底的Micro-LED芯片制備方法”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119050209A,申請(qǐng)公布日為2024月12月13日,發(fā)明人為周圣軍、廖喆夫、蔣晶晶。
 

武漢大學(xué)Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種基于空腔圖形化襯底的Micro LED芯片制備方法,包括:1)提供外延片,所述包括襯底和外延層,所述外延層包括AlN緩沖層、nGaN層、有源區(qū)層、pAlGaN電子阻擋層和pGaN層;2)在所述pGaN層表面沉積一層SiO2保護(hù)層;3)利用納秒脈沖激光對(duì)所述外延層進(jìn)行掃描刻蝕,形成溝槽;4)利用熱化學(xué)腐蝕對(duì)所述溝槽進(jìn)行腐蝕,在所述襯底與所述AlN緩沖層界面靠近所述溝槽區(qū)域形成空腔微結(jié)構(gòu);5)去除步驟2)中所述SiO2保護(hù)層,引入ITO層,并對(duì)所述ITO層進(jìn)行刻蝕以形成圖形化ITO層;6)在所述圖形化ITO層上沉積一層SiO2鈍化層,在所述SiO2鈍化層蒸鍍p電極和n電極,形成所述Micro LED芯片。該方法制備的Micro LED芯片的正面光輸出功率,提升了芯片的光電性能。

閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室:一種全彩多功能Micro LED顯示裝置及制備方法、光源器件,實(shí)現(xiàn)高分辨、高色域、高對(duì)比度、低能耗

閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ 一種全彩多功能Micro-LED顯示裝置及制備方法、光源器件”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119050242A,申請(qǐng)公布日為2024月11月29日,發(fā)明人為關(guān)天用、李陽(yáng)。
 

閩都創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)室Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種全彩多功能Micro LED顯示裝置及制備方法、光源器件,該裝置通過(guò)噴墨打印技術(shù)集成了紅、綠、近紅外量子點(diǎn)像素陣列,不僅實(shí)現(xiàn)了高分辨、高色域、高對(duì)比度、低能耗的顯示效果,而且還具備了面部識(shí)別和多參數(shù)生理監(jiān)測(cè)的附加功能。所述的裝置以藍(lán)光Micro LED芯片作為激發(fā)光源,通過(guò)噴墨打印方式在芯片上形成紅、綠、近紅外像素陣列,實(shí)現(xiàn)全彩顯示的同時(shí),利用近紅外量子點(diǎn)較高的組織穿透能力,裝置可以進(jìn)行面部特征的非接觸式識(shí)別和多種生理參數(shù)的檢測(cè)。該裝置在智能顯示、安全監(jiān)控和健康監(jiān)測(cè)等領(lǐng)域具有廣泛應(yīng)用前景。

中科院納米研究所:Micro LED芯片及其制備方法與應(yīng)用,提高芯片的生產(chǎn)效率和良品率

中國(guó)科學(xué)院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所申請(qǐng)一項(xiàng)名為“ Micro-LED芯片及其制備方法與應(yīng)用”的發(fā)明專利,申請(qǐng)公布號(hào)為CN119008821A,申請(qǐng)公布日為2024月11月21日,發(fā)明人為張曉東、查強(qiáng)、夏先海、曾中明、張寶順。
 

中科院納米研究所Micro LED專利

圖片來(lái)源:國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局

本發(fā)明公開了一種Micro LED芯片及其制備方法與應(yīng)用。該Micro LED芯片包括LED芯片結(jié)構(gòu)和第一超表面導(dǎo)電結(jié)構(gòu)層,該第一超表面導(dǎo)電結(jié)構(gòu)層包括:電性結(jié)合于LED芯片結(jié)構(gòu)的出光面上的第一導(dǎo)電層;以及,與第一導(dǎo)電層層疊設(shè)置和/或一體設(shè)置的超表面結(jié)構(gòu);該超表面結(jié)構(gòu)至少用于對(duì)從該出光面射出的光的出射角度或波長(zhǎng)進(jìn)行調(diào)控?;诒景l(fā)明的技術(shù)方案,可以實(shí)現(xiàn)Micro LED芯片的全彩化,增加出光率和準(zhǔn)直性,并可以采用大規(guī)模標(biāo)準(zhǔn)半導(dǎo)體工藝制程實(shí)現(xiàn)Micro LED芯片的制備和Micro LED像素與顯示單元的一體化,提高M(jìn)icro LED芯片的生產(chǎn)效率和良品率、降低成本。(LEDinside整理)

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