極特先進科技公司(GT Advanced Technologies;GTAT)與Soitec宣布一項開發(fā)及授權合約,根據(jù)該協(xié)議,GT將與Soitec共同開發(fā)和商品化用于生產(chǎn)低成本氮化鎵(GaN)模板基板的大容量多晶圓“高效氫化物氣相磊晶”(HVPE)系統(tǒng)。這套 HVPE 系統(tǒng)預期可降低 LED 生產(chǎn)成本,并加速在商業(yè)和住宅照明領域中的應用。
這套HVPE系統(tǒng)將用于生產(chǎn) LED 或其他高成長產(chǎn)業(yè)(例如電力電子業(yè))所用基板的優(yōu)質 GaN 磊晶薄膜。與傳統(tǒng)的MOCVD制程相較, HVPE 系統(tǒng)可能帶來更高的成長率并改進材料特性,可望顯著降低制程成本,同時提高設備性能。協(xié)議中規(guī)定的專利技術授權費的首期預付款已經(jīng)開始支付,但是具體條款尚未對外揭露。
Soitec旗下子公司Soitec Phoenix Labs擁有獨家 HVPE 專利技術,包括可望降低輸送至HVPE反應器的前驅體成本的新穎且先進的來源輸送系統(tǒng)。GT公司將利用上述 HVPE 專利技術來開發(fā)、生產(chǎn)和商品化 HVPE 系統(tǒng)。這套 HVPE 系統(tǒng)可實現(xiàn) GaN 模板藍寶石基板的規(guī)?;a(chǎn)。 HVPE 系統(tǒng)預計將于2014年下半年上市。
Soitec Phoenix Labs副總裁兼總經(jīng)理Chantal Arena表示:“我們已在 GaN 磊晶制程開發(fā)方面傾注六年多的時間,并且在 HVPE 技術方面也已取得了關鍵性突破。這項技術對生產(chǎn)高品質、低成本的藍寶石基板的 GaN 薄膜相當重要。”該公司并表示與GT共同宣布這項開發(fā)和授權合約旨在將 HVPE 技術整合進其藍寶石中,使Soitec能夠針對差異化的技術和產(chǎn)業(yè)合作伙伴提供材料與設備等各種 LED 照明系統(tǒng)。
GT 總裁兼執(zhí)行長Tom Gutierrez表示,GT致力于提供改變產(chǎn)業(yè)(如太陽能 PV 和 LED )的創(chuàng)新設備,隨著不斷拓展新的高價值技術以擴大業(yè)務范圍和向市場提供成功的解決方案,GT與Soitec簽訂協(xié)議,期望透過 Soitec Phoenix Labs 在 GaN 制程的專長提供先進技術與經(jīng)驗,讓新上市的 HVPE 系統(tǒng)能夠進一步降低 LED 設備成本,從而有助于推動產(chǎn)業(yè)形成更強的競爭力。