AIXTRON愛思強(qiáng)股份有限公司今日宣布，劍橋大學(xué)在材料科學(xué)與冶金系的新設(shè)施中成功完成另一套多晶片近耦合噴淋頭®(CCS) MOCVD反應(yīng)器的調(diào)試工作。 該套6x2英寸規(guī)格的CCS系統(tǒng)將配置為可處理一片6英寸（150mm）晶片，即1x6英寸規(guī)格。
 
“我們將利用AIXTRON愛思強(qiáng)的系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)在6英寸硅晶片上生長(zhǎng)氮化鎵外延，不斷推進(jìn)我們?cè)贚ED和電子設(shè)備方面的研發(fā)實(shí)踐，”材料科學(xué)與冶金系研究中心主任Sir Colin Humphreys教授表示。 “目前我們已經(jīng)有一套6x2英寸規(guī)格的CCS系統(tǒng)，但由于硅基氮化鎵發(fā)展步伐日益加速，我們需要增置一套具備大直徑晶片處理能力的系統(tǒng)。”

愛思強(qiáng)有限公司(AIXTRON Ltd.)董事總經(jīng)理Tony Pearce表示： “AIXTRON愛思強(qiáng)與劍橋大學(xué)的合作關(guān)系由來已久，之前劍橋大學(xué)曾向我們訂購一套反應(yīng)器，此次獲得劍橋大學(xué)增購另一套頂尖的CCS研究系統(tǒng)，讓我們倍感自豪。 在Humphreys教授的領(lǐng)導(dǎo)下，劍橋大學(xué)研究小組已成功發(fā)展了一套世界領(lǐng)先的硅基氮化鎵生產(chǎn)工藝，我們期待看到這套新系統(tǒng)為他們的研發(fā)工作再助一臂之力。”

AIXTRON 愛思強(qiáng)歐洲區(qū)副總裁Frank Schulte博士補(bǔ)充說： “我們非常高興能再次獲得劍橋大學(xué)研究小組的青睞，Colin Humphreys教授及其團(tuán)隊(duì)是硅基氮化鎵技術(shù)領(lǐng)域的先驅(qū)，致力推動(dòng)行業(yè)向前發(fā)展。 隨著硅基材在電力電子和LED應(yīng)用領(lǐng)域的不斷深入，硅基氮化鎵技術(shù)勢(shì)將成為更多市場(chǎng)參與者的技術(shù)選擇。”

英國劍橋大學(xué)氮化鎵中心不僅擁有氮化物半導(dǎo)體生產(chǎn)能力，還是全球?yàn)閿?shù)不多同時(shí)配備電子顯微鏡、X射線衍射儀、原子力顯微鏡、光致發(fā)光(PL)和霍爾效應(yīng)設(shè)備等多種先進(jìn)表征設(shè)施的研究中心。 此外，該研發(fā)小組還擁有在氮化物半導(dǎo)體材料物理性質(zhì)基本理論領(lǐng)域的專家。