Veeco公司(www.veeco.com)日前宣布南通同方半導(dǎo)體有限公司用于硅基氮化鎵高亮度二級發(fā)光管研究的TurboDisc K465i MOCVD設(shè)備已經(jīng)交付使用。
南通同方已采用Veeco的設(shè)備成功生產(chǎn)基于藍(lán)寶石襯底的氮化鎵LED,硅基氮化鎵LED將成為其未來幾年投資重點,并將繼續(xù)采用Veeco設(shè)備。
Veeco高級副總裁Jeff Hawthorne表示,很多客戶均在發(fā)展硅基氮化鎵技術(shù),在不影響最終產(chǎn)品性能的前提下降低LED制造成本,加快固態(tài)照明的普及。
K465i的特點是薄膜品質(zhì)高、瑕疵率低,這是硅基氮化鎵加工藝的關(guān)鍵。它還集成了Veeco的Uniform FlowFlang技術(shù),具有出色的均勻性和優(yōu)異的重復(fù)性。采用TurboDisc技術(shù)的設(shè)備維修需求低,從而提供最長的連續(xù)生產(chǎn)時間、極低微粒子產(chǎn)生的優(yōu)越性能以及高產(chǎn)量。經(jīng)過的生設(shè)產(chǎn)備驗維證修的需K465i提供了易于調(diào)試的快速優(yōu)化工藝,支持最大8英寸的晶圓。