近日，設(shè)立于武漢華中科技大學(xué)的武漢光電中國國家實驗室成功完成了Vistec EBPG5000pES系統(tǒng)的安裝調(diào)試。

武漢光電國家實驗室相關(guān)人士介紹道，Vistec的EBPG5000pES 電子束光刻系統(tǒng)將進(jìn)一步增強武漢光電國家實驗室(WNLO)在光子學(xué)和光電領(lǐng)域的研發(fā)實力?！癊BPG5000pES系統(tǒng)使我們能夠應(yīng)對所有現(xiàn)今研發(fā)中精細(xì)光刻的需求，我們確信無論在應(yīng)用方面還是技術(shù)服務(wù)方面，都能得到Vistec這一戰(zhàn)略合作伙伴的支持?！?br />
Vistec EBPG5000pES 系統(tǒng)高度可靠，設(shè)計架構(gòu)經(jīng)過實際證明是頂級的電子束光刻工具。系統(tǒng)擁有靈活的光電透鏡系統(tǒng)，高亮度的熱場發(fā)射電子束源，可以穩(wěn)定的工作在50KeV和100KeV的加速電壓，提供了小到2.2nm的束斑尺寸，因此，保障了最小分辨率可以穩(wěn)定重復(fù)的達(dá)到小于8nm的結(jié)構(gòu)。同時，系統(tǒng)采用了易用的交互圖形化操作界面(GUI)，十分簡單容易使用在多用途，多用戶的學(xué)校和科研環(huán)境下。

Vistec電子束光刻公司負(fù)責(zé)人也表示. “我們非常高興和武漢華中科技大學(xué)光電國家實驗室(WNLO)共同達(dá)到合作過程中這一里程碑的時刻，確信Vistec可以幫助華中科技大學(xué)光電國家實驗室實現(xiàn)更多的成功，武漢光電國家實驗室的電子束光刻系統(tǒng)是第一臺在中國境內(nèi)安裝運行的EBPG5000pES系統(tǒng)，我們相信今后Vistec的業(yè)務(wù)在中國范圍內(nèi)會有越來越多的穩(wěn)定增長?！?/p>