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丸善石油化學(xué)開發(fā)出利于提取LED光的納米壓印樹脂

2011-04-19 11:38:18 [編輯：wendymeng]

丸善石油化學(xué)開發(fā)出了面向LED芯片表面微細加工用途的紫外線硬化型納米壓印樹脂。使用該新技術(shù)能夠以低成本形成間隔比原來更小的凹凸，從而提高LED的光提取效率。

丸善石油化學(xué)介紹，在LED芯片制造工序中，為了使LED光能夠向外高效輸出，一般使用光刻（photolithographic）技術(shù)在芯片表面上形成微細凹凸。而納米壓印技術(shù)較之光刻技術(shù)，能夠以低成本在短時間內(nèi)形成納米級間隔的微細凹凸。

該新技術(shù)具有“對氟類及氯類氣體的耐蝕刻性出色”（該公司）的特點。比如，對LED使用的藍寶石基板的蝕刻選擇比為0.7～0.8。這一數(shù)值越高，就越能夠減薄基板微細加工用的樹脂層。該樹脂層在涂布于藍寶石等基板上之后，通過壓模處理形成凹凸。這時，樹脂層越薄，就容易將模具從樹脂剝離下來，因此可提高生產(chǎn)效率。

同時，丸善石油化學(xué)宣稱，將力爭在2011年下半年到2012年啟動的新工廠中采用該技術(shù)，目前已開始提供試制品。

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