從LED工作原理可知,外延片材料是LED的核心部分,事實(shí)上,LED的波長、亮度、正向電壓等主要光電參數(shù)基本上取決于外延片材料。外延片技術(shù)與設(shè)備是 外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵所在,金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積(Metal-Organic Chemical Vapor Deposition,簡稱MOCVD)技術(shù)生長III-V族,II-VI族化合物及合金的薄層單晶的主要方法。下面是關(guān)于LED未來外延片技術(shù)的一些發(fā)展 趨勢(shì)。
目前商業(yè)化生產(chǎn)采用的是兩步生長工藝,但一次可裝入襯底數(shù)有限,6片機(jī)比較成熟,20片左右的機(jī)臺(tái)還在成熟中,片數(shù)較多后導(dǎo)致外延片均勻性不夠。