生長LED有機(jī)層的外延片工藝方法有氣相外延片(VPE)、液相外延片(LPE)、金屬有機(jī)化學(xué)氣相淀積(MOCVD)、分子束外延片(MBE)。它們生長LED 有機(jī)層的材料分別有氣相外延片CaAsp、GaP,液相外延片GaP,GaAlAs,金屬有機(jī)物化學(xué)氣相淀積InGaAlP、InCaN,分子束外延片ZnSe 等。
粵公網(wǎng)安備 44030402000079號