微影半導(dǎo)體公司（Lithography Semiconductor Equipment Co., LTD）日前在臺灣地區(qū)臺南科學(xué)園區(qū)舉行盛大的產(chǎn)品發(fā)表會，正式推出全球第一套采用LED光源投影曝光機(jī)的半導(dǎo)體芯片解決方案，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來了一場革命性的突破。

這套創(chuàng)新的曝光機(jī)，是由微影半導(dǎo)體的創(chuàng)辦人胡德立領(lǐng)導(dǎo)的國際團(tuán)隊在英國自主研發(fā)的成果，經(jīng)過了多年的努力和挑戰(zhàn)，終于在今年成功地通過了臺灣地區(qū)半導(dǎo)體客戶的驗(yàn)證，并獲得了預(yù)約生產(chǎn)的多套訂單。

圖片來源：微影半導(dǎo)體

這套曝光機(jī)的優(yōu)勢：1、全球芯片生產(chǎn)首創(chuàng)采用LED紫外光源，相較于傳統(tǒng)使用的劇毒汞燈，能耗僅為1/100, 不僅節(jié)能，也減少了汞污染。

2、自研高景深長焦鏡頭配合LED光源，不但照度超越汞燈系統(tǒng)，還可實(shí)現(xiàn)GHI線快速分割及合并曝光，可大幅提升曝光質(zhì)量和效率，從2英寸到12英寸的晶圓尺寸，雙面對準(zhǔn)系統(tǒng)等，適應(yīng)各種半導(dǎo)體制程的需求。

3、涂布顯影、曝光、檢測三大黃光核心制程技術(shù)完全主導(dǎo)自主研發(fā)，并將于臺灣地區(qū)設(shè)廠生產(chǎn)制造，提供客制化“半導(dǎo)體黃光曝光生態(tài)平臺”Turn-Key服務(wù)。

微影半導(dǎo)體創(chuàng)辦人胡德立表示，這將是一種高效并且環(huán)保的新一代半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備，將為臺灣地區(qū)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)帶來巨大的競爭優(yōu)勢和市場機(jī)會，期盼與更多的合作伙伴分享微影半導(dǎo)體的創(chuàng)新成果，共同推動全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。（來源：工商時報）

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