USHIO電機(jī)株式會(huì)社（總公司：東京都、代表取締役社長(zhǎng) 菅田史朗、以下略稱(chēng)USHIO）于2010年8月發(fā)表LED業(yè)界世界首見(jiàn)之６寸全面投影曝光機(jī)「UX4-LEDs」※2。

就工藝來(lái)分類(lèi)，LED Chip制造可歸類(lèi)于半導(dǎo)體的分支。其黃光工藝中，在Sapphire基板上制造電極與電路、保護(hù)膜時(shí)，依然使用與半導(dǎo)體生產(chǎn)之相同曝光設(shè)備。在臺(tái)灣市場(chǎng)而言，一般2、4寸基板的生產(chǎn)仍以歩進(jìn)式曝光機(jī)（Step & Repaet）或接觸式(Contact)曝光設(shè)備※3為主流。

但由于背光模組與一般照明需求增加，同時(shí)生產(chǎn)上有更嚴(yán)格的成本考量，LED基板尺寸也逐漸由目前的2朝4～6寸擴(kuò)大，各家制造商也為了1片基板能取出更多芯片※4而努力。若擴(kuò)大至6寸，勢(shì)必會(huì)發(fā)生更嚴(yán)重之基板翹曲問(wèn)題，以現(xiàn)在歩進(jìn)式曝光機(jī)或接觸式曝光設(shè)備，并無(wú)法有效獲得改善。因此導(dǎo)致線路或保護(hù)膜層等Layer良率大幅降低，此已是發(fā)生在日本及韓國(guó)同業(yè)間之實(shí)際問(wèn)題。另外，基板尺寸擴(kuò)大時(shí)，若進(jìn)行既有設(shè)備改造，則又會(huì)發(fā)生大幅費(fèi)用與Up-Time損失，上述現(xiàn)象為目前LED業(yè)界面臨到之一大課題。

為此、USHIO運(yùn)用半導(dǎo)體長(zhǎng)年累積投影式曝光機(jī)經(jīng)驗(yàn)、針對(duì)LED Chip工藝進(jìn)行研發(fā)、進(jìn)而量身開(kāi)發(fā)出LED工藝專(zhuān)用高生產(chǎn)性曝光設(shè)備-「UX4-LEDs」。此設(shè)備不僅可以有效克服基板翹曲問(wèn)題、并可藉由6寸全面曝光、大幅提升生產(chǎn)性與大尺寸化之經(jīng)濟(jì)效益。與市場(chǎng)上既有歩進(jìn)式曝光機(jī)比較、「UX4-LEDs」實(shí)現(xiàn)了一倍產(chǎn)能之提升※5。即便未來(lái)大尺寸化（8寸）、「UX4-LEDs」亦可只需交換投影Lens即可升級(jí)、可節(jié)省設(shè)備改造與零件之成本與所需時(shí)間、讓生產(chǎn)更加趨近完全自動(dòng)化之目標(biāo)。

USHIO為目前市場(chǎng)上唯一從光源、光學(xué)系統(tǒng)、機(jī)械結(jié)構(gòu)、電氣、軟體為止皆為自家設(shè)計(jì)之曝光機(jī)廠商，以長(zhǎng)年累積之曝光機(jī)Know-how為技術(shù)基礎(chǔ)，針對(duì)不同客戸與不同工藝，量身打造最符合客戸需求之生產(chǎn)設(shè)備。同時(shí)，未來(lái)也將與客戸一起為提高產(chǎn)品品質(zhì)與降低生產(chǎn)成本共同努力。

本公司預(yù)計(jì)于2010年9月8～10日參加「2010 SEMICON」(臺(tái)北世貿(mào)展覽館Exhibition Hall 1 #263*)，誠(chéng)摯邀請(qǐng)各家廠商親臨USHIO攤位，由駐場(chǎng)人員親自針對(duì)「UX4-LEDs」設(shè)備與性能進(jìn)行詳細(xì)解説，希冀對(duì)于未來(lái)貴公司LED工藝評(píng)估能有所助益。

※1    2010年6月30日（本公司調(diào)査）
※2　 USHIO累積20年以上包含半導(dǎo)體、FPD、電路板、MEMS業(yè)界等之曝光設(shè)備生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)、全世界出貨量累積突破1,000臺(tái)(含接觸式、全面投影、歩進(jìn)式曝光機(jī)各種設(shè)備類(lèi)型)。
※3    不同曝光方式之性能比較詳見(jiàn)文后「曝光方式比較表」。
※4    單一基板2寸可取約芯片1萬(wàn)個(gè)、6寸約9萬(wàn)個(gè)。
※5    條件為6寸基板（本公司調(diào)査）

USHIO制LED Chip生產(chǎn)用全面投影式曝光機(jī)「UX4-LEDs」

① 6 吋一次投影曝光機(jī)
      ?曝光時(shí)由于Mask與Wafer未接觸，可避免Mask沾染光阻，線路Pattern不良也得以解決。此外，亦不需Mask清潔作業(yè)，設(shè)備生產(chǎn)時(shí)間相對(duì)得到提升。
      ?相較既有歩進(jìn)式曝光機(jī)產(chǎn)出速度，「UX4-LEDs」高效率一次曝光實(shí)現(xiàn)產(chǎn)能一倍提升。

② 高對(duì)位精度?高解析能力
      ?自家開(kāi)發(fā)投影鏡頭，對(duì)位系統(tǒng)與搬送機(jī)構(gòu)，可對(duì)應(yīng)各種LED chip工藝需求。
      ?透明電極等Layer之對(duì)位Mark辨識(shí)性不良問(wèn)題可透過(guò)TTL(Through The Lens)對(duì)位系統(tǒng)有效改善，達(dá)成高精度之對(duì)位能力。
      ?獨(dú)家真空吸著Stage設(shè)計(jì)與高焦點(diǎn)深度(Deep Of Focus)，可有效解決大尺寸化之板翹問(wèn)題。

③ UPGRADABLE結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
?不同基板尺寸產(chǎn)品可藉由Recipe自動(dòng)切換，不需人工進(jìn)行Stage交換作業(yè)。
?主要元件模組設(shè)計(jì)，方便未來(lái)工藝需求提升時(shí)升級(jí)，并有利日后保養(yǎng)維修之便利性。

④ 高C/P值
      ?依照客戸需求量身訂做，較傳統(tǒng)曝光設(shè)備(含中古歩進(jìn)式曝光機(jī))節(jié)省80%之C.o.O.，設(shè)備本體尺寸也較前世代設(shè)備輕巧，所需CR空間僅需3.0㎡。

LED Chip生產(chǎn)用各類(lèi)型露光機(jī)比較

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　
USHIO電機(jī)株式會(huì)社簡(jiǎn)介

USHIO電機(jī)株式會(huì)社（本社：東京都、東証6925）于1964年創(chuàng)立。由生產(chǎn)產(chǎn)業(yè)用光源開(kāi)始，衍伸至各種照明用，OA用光源與曝光設(shè)備。另外，自家光源衍伸之各種光學(xué)部品也皆有制造販?zhǔn)?，在市?chǎng)上獲得相當(dāng)高之評(píng)價(jià)與市佔(zhàn)率。目前集團(tuán)員工數(shù)(含海外公司)約4,600名，連結(jié)營(yíng)業(yè)額約為￥1,208億円。（2009年3月期）